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飞秒激光微纳加工

飞秒激光脉冲具有极短的脉冲宽度和极高的峰值功率，与物质相互作用时呈现强烈的非线性效，它主要依靠多光子吸收机制来加工一些长脉冲激光无法作用的透明材料。飞秒脉冲作用时 间极短，热效应小，因而可以大大提高加工精度。

加工系统由光束传输与调节系统、 光束整形系统、实时监视系统及三维精密加工系统四部分组成。飞秒激光依次经过半波片、格兰泰勒棱镜、连续衰减片、准直光阑、电控高速快门、扩束系统、 整形系统（SLM）与成像系统，最后经显微物镜聚焦到样品上。将待加工样品固定在二维俯仰精密调整架上，调整架固定在三维移动平台上。通过Labview程序可以同步控制电控高速快门及三维移动平台的移动，使待加工样品按照一维均匀周期轨迹、同心圆轨迹或任意自由轨迹运动。

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