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XONOX 斐索干涉计量组件包含多规格透射球面、X-mini 检测物镜、6 英寸转 8 英寸孔径转换器及 X-fringe 条纹分析工作站,为 4/6 英寸主流干涉仪提供低成本孔径升级方案。全系德国原装光学标准件,参考面精度高、接口互通性强,可实现从毫米级小微球面到 203.2mm 大口径光学元件的面形与透射波前检测;配套移相干涉分析软件,抗振稳定,兼顾研发复杂分析与产线批量质检,是精密光学制造计量的整套高性价比解决方案。
  • 兼容主流干涉仪,卡口直装,低成本拓展测量孔径
  • 参考面精度 λ/20 PV,覆盖小微至 8 英寸大口径检测
  • 支持球面、平面、异形元件面形与波前测量
  • 德国 XONOX 原厂件,密封防尘,配套防护收纳
  • X-fringe 软件抗振,适配实验室研发与产线质检
5.2英寸斐索透射球面标准镜,XONOX 4+
5.2 英寸斐索透射球面系列,专为 4 英寸干涉仪配套设计,可给标准 4 英寸干涉仪实现波前扩展升级,在不改动原有设备的前提下拓展测量孔径,由德国 XONOX 原厂生产,兼顾优秀光学性能与高性价比。
  • 30% 波前扩展,4 英寸干涉仪升级 5.2 英寸系统,可视覆盖最高提升 60%
  • 4 英寸标准卡口直装,与原有透射球面完全互换,设备无需改动
  • 创新 F 数系列,实现多种镜面无盲区全孔径检测
  • 手工抛光参考面,整机防尘密封,长期使用性能稳定
  • 德国 XONOX 原装生产,配套智能安全存储搬运箱
X-mini 物镜,X-mini Obj.
这款干涉仪物镜适配 XONOX X-mini 移相泰曼 - 格林干涉仪,采用无穷远校正光学设计,搭配 M26×0.7 标准接口,体积小巧,兼顾经济性与测量性能,可满足小微尺寸球面的精密面形检测。
  • 无穷远校正设计,M26×0.7 标准螺纹接口,兼容性强
  • 多规格可选,覆盖 13mm 及更小尺寸球面检测
  • 自带高品质参考面,支持系统软件辅助校准
  • 搭配 X‑mini 系统可达 λ/20 PV 检测精度,误差补偿优异
  • 20mm 及以内平面工件可直接检测,无需加装物镜,外形紧凑小巧
8英寸(203.2mm)孔径转换器套装,XONOX 6“-8“
XONOX 6 英寸转 8 英寸孔径转换器套装,适配市面主流 6 英寸斐索干涉仪,可将测量孔径拓展至 8 英寸(203.2mm),搭配 M20 PVr 级透射平晶,用于大孔径光学元件透射波前、面形误差检测,支持搭配全息片、补偿透镜完成异型光学元件测试,配套精密调节与可选卧式固定支架,灵活适配不同检测布局。
  • 适配市面 6 英寸斐索干涉仪,兼容 Zygo 6 英寸卡口,光束拓展至 8 英寸
  • 配套 λ/20 PVr 级 8 英寸透射平晶,完成大口径元件波前与面形检测
  • 可搭配衍射全息片、补偿透镜,实现异形大孔径元件测试
  • 可选配专用固定支架,承重整机且不限制光轴方向移动
  • 内置调节机构,快速实现装置与系统光轴精准对准
60mm 透射球面,TS-60
60mm 斐索透射球面,适配 XONOX X-fiz mini60 移相斐索干涉仪,用于中小口径球面光学检测,参考面精度优异,配套防护收纳配件,是高性价比的光学测量标准件。
  • 兼容 XONOX X‑fiz mini60 移相斐索干涉仪
  • 参考面达 λ/20 PV @632.8nm,测量可靠
  • 覆盖中小口径球面各类测量场景
  • 标配双面保护盖 + 专用存储箱
  • 76mm 螺纹机械接口,安装便捷
X-fringe分析软件,X-fringe
X-fringe 移相条纹分析干涉测量工作站,是面向精密光学检测的专业系统,兼顾研发复杂分析与产线常规质检,依托移相干涉算法实现光学面形高精度检测,模块化硬件搭配智能软件,具备强抗振特性,适配多样化光学计量需求。
  • BWP/SWP/MWP 三种构型,覆盖研发、产线质检多场景
  • 可在车间工况下稳定完成条纹分析测量
  • 硬件一体化集成,保障光学测量结果可靠
  • 触控优化界面,支持多种输入交互方式
  • PC 整机内置,可选推车 / 桌面多种布局
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