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干涉仪工作站
本系列干涉仪包含 MT300 Micro 微型立式、VT500 紧凑型立式、HS1200 大行程卧式三款工作站,依托花岗岩气浮导轨、光栅测距与斐索移相干涉方案,可完成光学元件面形、曲率半径精密检测;机型覆盖微小光学件到大口径镜片,抗振结构适配工业现场,配套专业条纹分析软件,支持工装定制与第三方干涉单元兼容,兼顾计量实验室高精度标定与产线批量质检需求。
  • 多机型模块化,立 / 卧式可选,覆盖 φ13mm~φ350mm 光学件检测
  • 花岗岩气浮结构 + 高分辨率光栅,运动平稳,曲率测量精度优异
  • X-mini/X-fiz 斐索干涉模块,500 万像素成像,移相采集清晰稳定
  • XYZ 精密载物台,工装可定制,支持光焦度归零,VT500 自带减振
  • X-fringe PS2 软件,产线模式齐全,兼容第三方干涉单元
立式干涉仪系统,MT 300 Micro
本款立式干涉仪系统是专为微型光学元件检测打造的精密工作站,适配小尺寸光学表面测试,集成气浮导轨、光栅测量、X-mini 小孔径干涉模块与配套软件,结构紧凑,测量精准,兼顾灵活性与性价比,适配产线批量检测需求。
  • 适配微型光学件,最大检测 φ13mm,平面元件可达 φ20mm
  • 花岗岩气浮导轨,300mm 垂直行程,光栅尺实现曲率半径精密测量
  • X‑mini 小孔径移相干涉模块,500 万像素相机 + 稳定激光器
  • XYZ 载物台 + Z 轴精密微调,支持定制工装,实现光焦度精准归零
  • X‑fringe PS2 专业软件,内置产线模式,集成工控主机操作便捷
立式 紧凑型 干涉仪系统,VT 500
VT 500 立式紧凑型干涉仪系统,是一款精密塔式斐索干涉设备,适配产线质检与计量实验室场景,结构紧凑易搬迁,搭载高性能干涉主机与专业条纹分析软件,兼顾高精度测量能力与工业环境适应性,可完成光学元件曲率半径等参数检测。
  • 花岗岩立柱搭配精密导轨,气浮工作台导向平稳,可选脚轮方便移位
  • 配备高分辨率线性光栅尺,可直接对接条纹分析软件,保障测量精度
  • X-fiz 100 斐索干涉仪,支持电控变焦对焦,兼容 1–5.2 英寸透射球面检测
  • 内置减振系统,抗干扰能力强,能够稳定在工业生产环境中使用
  • X-fringe PS2 条纹分析软件,多种智能模式,操作友好适配多场景检测
卧式干涉仪系统,HS1200
HS1200 卧式干涉仪系统,面向产线质检与计量实验室,用于光学元件曲率与面形精密检测。花岗岩气浮结构搭配高精度光栅,搭载 X‑fringe PS2 分析软件,提供整机、轻便版、纯工作站多种配置,可适配自有或第三方干涉单元,兼容减振平台与客户现有光学平台。
  • 可测曲率半径最大 1400mm,适配最大 φ350mm 光学工件
  • 花岗岩气浮机构 + 5 轴微调,移动精准,刚性免维护
  • 高分辨率线性光栅,可直连条纹分析软件
  • 可选 X‑fiz 斐索干涉仪,搭配 500 万 CMOS 与 X‑fringe PS2 分析软件
  • 多版本可选,支持接入第三方干涉仪,可配减振平台、双屏工作台
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