光学元件材质 | UVFS | 表面平行度 | ≤5 arcsec、≤30 arcsec |
表面光洁度(划痕/麻点) | 40/20、20/10 | 表面平整度(@633 nm) | λ/10、λ/4 |
紫外熔融石英UVFS窗口片
一、材料特点
紫外熔融石英UVFS窗口片是一种高性能光学材料,专为紫外(UV)到近红外(NIR)波段设计,具有优异的透光性和稳定性,透过率高达90%以上(185 nm–2.1 μm),尤其在深紫外(DUV)波段(如193 nm、248 nm)表现优异,远优于BK7玻璃(仅350 nm以上),耐酸碱、耐潮湿,抗腐蚀性强,激光损伤阈值高。
二、主要用途
1.光学系统保护,作为保护窗口,用于密封或隔离光学系统(如激光器、传感器、摄像头等),防止灰尘、湿气或污染物进入,同时不影响光路传输。
2.用于DUV光刻机、掩模保护窗,以及半导体工艺中的紫外检测设备。
3.卫星光学窗口、太空望远镜镜片,耐辐射且适应真空/高低温循环。